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MEMS器件最常見(jiàn)的四大分類(lèi)

時(shí)間:2019-01-30 13:53:57來(lái)源:網(wǎng)絡(luò ) 作者:admin 點(diǎn)擊:
MEMS器件體積小,重量輕,耗能低,慣性小,諧振頻率高,響應時(shí)間短。MEMS系統與一般的機械系統相比,不僅體積縮小,而且在力學(xué)原理和運動(dòng)學(xué)原理,材料特性、加工、測量和控

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