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就目前國際半導體制造工藝成熟與否而言，65nm應該是個(gè)公認的分界點(diǎn)，畢竟進(jìn)入65nm以下技術(shù)節點(diǎn)者已大為減少，而以中芯國際為代表的中國半導體制造水平及能力，則剛完成65nm工藝的批量化生產(chǎn)，另一條華力微65nm生產(chǎn)線(xiàn)還在建設當中。而國際上半導體最新工藝已經(jīng)在向32/28nm挺進(jìn)。
其實(shí)，中國半導體制造工藝不是在按摩爾定律的節奏在走，而是以WassenaarArrangement定的步調在發(fā)展，得到的永遠都是落后于最新技術(shù)1-2代工藝節點(diǎn)，這是我們自身無(wú)先進(jìn)工藝開(kāi)發(fā)能力，IC設計端沒(méi)有最新工藝需求，以及自身不具備設備、材料研制能力所決定的。
2010財年，中芯國際結束了公司IPO后5年來(lái)持續虧損的歷史。王寧國表示，未來(lái)5年中芯國際第一是要成為持續成長(cháng)的國際型中國集成電路加工制造公司，第二是受惠于中國半導體工業(yè)鏈的發(fā)展，同時(shí)輔助中國建設集成電路的產(chǎn)業(yè)鏈。據悉，中芯國際前10名客戶(hù)中，中國本土公司已經(jīng)占到50%，對公司業(yè)務(wù)貢獻率已由2009年的21%提升至32%。
最能說(shuō)明問(wèn)題的是，王寧國認為，“未來(lái)三年是中芯國際的關(guān)鍵年，中芯國際必須在2010-2011年實(shí)現65／55納米制程量產(chǎn)，2011-2012年完成45／40納米制程的小規模量產(chǎn)，到2013-2014年32／28納米的制程也必須開(kāi)始有量產(chǎn)，這樣我們就可實(shí)現與世界先進(jìn)水平的差距在18個(gè)月左右�！边@個(gè)工藝水平的發(fā)展速度，同樣沒(méi)有超出Wassenaar Arrangement給設定的上限，中芯國際必需面對現實(shí)。
設備商新品上市，重點(diǎn)目標大都瞄向北美及中國大陸周邊地區。DEK大中華區總經(jīng)理黃俊榮認為，在亞洲的半導體市場(chǎng)中，日本、韓國、臺灣是比較高端的，日本地震造成的缺口自然就會(huì )轉到韓國和臺灣去，中國大陸還不是先進(jìn)技術(shù)的最先應用之地。
從Foundry業(yè)者對中國市場(chǎng)需求的定位，也看出成熟工藝在中國才是現實(shí)的選擇。GLOBAL FOUNDRIES新加坡200mm制程總經(jīng)理Raj Kumar認為，今后將會(huì )有越來(lái)越多的IDM公司會(huì )轉向輕晶圓或者是無(wú)晶圓業(yè)務(wù)模式，這是Foundry發(fā)展的動(dòng)力所在。200毫米的技術(shù)雖然說(shuō)是成熟技術(shù)，但非�？春盟脑鲩L(cháng)：首先，現有的5英寸和6英寸的這些產(chǎn)能將會(huì )逐漸轉向200毫米晶圓，這是一個(gè)比較重要的潮流。另外，目前的200毫米產(chǎn)能當中，IDM自有的晶圓廠(chǎng)約占50%左右，但以后IDM這些晶圓廠(chǎng)的產(chǎn)能會(huì )外包出去，所以這也是一個(gè)推動(dòng)200毫米產(chǎn)能增長(cháng)的第二個(gè)重要原因。
Crossing Automation產(chǎn)品營(yíng)銷(xiāo)副總裁徐玫(MaySu)表示，“基于200mm晶圓廠(chǎng)資本投資所具有的成本優(yōu)勢，許多制造廠(chǎng)現在希望能將標準機械化接口運用于既有工具系統上。而 Crossing Automation的解決方案，剛好可將標準機械化接口應用于開(kāi)放式晶圓匣工具上，使各式各樣200mm設備皆可為晶圓廠(chǎng)帶來(lái)標準機械化接口的優(yōu)勢�！�
就市場(chǎng)需求而言，徐玫表示，在2010年被關(guān)掉的72條生產(chǎn)線(xiàn)中，有52條是150mm線(xiàn)，而在現有的200mm生產(chǎn)線(xiàn)中約有99%需要SMIF服務(wù)方案。
如TI的成都200mm生產(chǎn)線(xiàn)，一次就需要600臺左右產(chǎn)品，所以市場(chǎng)需求在未來(lái)幾年會(huì )持續保持旺盛。
中國大陸晶圓廠(chǎng)，已掌握200mm生產(chǎn)線(xiàn)的運作。據悉，新任中芯國際200mm營(yíng)運中心主管的陳姓副總來(lái)自臺灣半導體界，用了近一年時(shí)間首先穩定住了200mm營(yíng)運團隊，并在此基礎上實(shí)現多項經(jīng)濟技術(shù)指標已達到世界一流200mm生產(chǎn)線(xiàn)水準，0.13微米技術(shù)節點(diǎn)每層光罩的成本已連續3個(gè)季度達到世界水平。而中芯國際天津廠(chǎng)，則是一位沒(méi)有任何海外留學(xué)背景的人在任廠(chǎng)長(cháng)，已使天津廠(chǎng)連續3個(gè)季度被關(guān)鍵客戶(hù)評為全球排名第一的Foundry廠(chǎng)。
但200mm生產(chǎn)線(xiàn)要以獨特的工藝能力取勝。RajKumar表示，“在全球有200毫米生產(chǎn)線(xiàn)的公司很多，但是能做MEMS的公司并不多，因此我們非常希望能夠在這樣一個(gè)市場(chǎng)上擴大我們的領(lǐng)先優(yōu)勢�！盧ajKumar稱(chēng)，盡管我們在200毫米MEMS方面也有不少競爭對手，但是真正能夠做到汽車(chē)電子級別的，應該說(shuō)寥寥無(wú)幾。
據悉，GLOBAL FOUNDRIES在中國主要是希望能夠在增值市場(chǎng)上，也就是成熟節點(diǎn)上的高端應用上希望能夠有更多的中國用戶(hù)，而電源管理和RFID等方面將是GLOBAL FOUNDRIES主打的幾塊業(yè)務(wù)，“即綠色、節能技術(shù)，以及圍繞以應用為導向的制程技術(shù)，是GF今后在中國的發(fā)展方向”，Raj Kumar說(shuō)。
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