紫外線(xiàn)探測器SG01D-C18應用于紫外光刻機
A 手動(dòng)：指的是對準的調節方式，是通過(guò)手調旋鈕改變它的X軸，Y軸和thita角度來(lái)完成對準，對準精度可想而知不高了；
B 半自動(dòng)：指的是對準可以通過(guò)電動(dòng)軸根據CCD的進(jìn)行定位調諧；
C 自動(dòng)： 指的是 從基板的上載下載，曝光時(shí)長(cháng)和循環(huán)都是通過(guò)程序控制，自動(dòng)光刻機主要是滿(mǎn)足工廠(chǎng)對于處理量的需要。
曝光系統最核心的部件之一是紫外光源, 常見(jiàn)光源分為:
可見(jiàn)光：g線(xiàn)：436nm
紫外光（UV），i線(xiàn)：365nm
深紫外光（DUV）,KrF 準分子激光：248 nm, ArF 準分子激光：193 nm
極紫外光（EUV），10 ~ 15 nm
對光源系統的要求:
a.有適當的波長(cháng)。波長(cháng)越短，可曝光的特征尺寸就越��；[波長(cháng)越短，就表示光刻的刀鋒越鋒利，刻蝕對于精度控制要求越高。]
b.有足夠的能量。能量越大，曝光時(shí)間就越短；
c.曝光能量必須均勻地分布在曝光區。[一般采用光的均勻度或者叫不均勻度 光的平行度等概念來(lái)衡量光是否均勻分布]
常用的紫外光光源是高壓弧光燈（高壓汞燈），高壓汞燈有許多尖銳的光譜線(xiàn)，經(jīng)過(guò)濾光后使用其中的g線(xiàn)（436 nm）或i線(xiàn)（365 nm）。對于波長(cháng)更短的深紫外光光源，可以使用準分子激光。例如KrF準分子激光（248 nm）、ArF準分子激光（193 nm）和F2準分子激光（157 nm）等。曝光系統的功能主要有：平滑衍射效應、實(shí)現均勻照明、濾光和冷光處理、實(shí)現強光照明和光強調節等。
光刻機的主要性能指標有：支持基片的尺寸范圍，分辨率、對準精度、曝光方式、光源波長(cháng)、光強均勻性、生產(chǎn)效率等。
分辨率是對光刻工藝加工可以達到的最細線(xiàn)條精度的一種描述方式。光刻的分辨率受受光源衍射的限制,所以與光源、光刻系統、光刻膠和工藝等各方面的限制。
對準精度是在多層曝光時(shí)層間圖案的定位精度。
曝光方式分為接觸接近式、投影式和直寫(xiě)式。
曝光光源波長(cháng)分為紫外、深紫外和極紫外區域，光源有汞燈，準分子激光器等。
最后小編推薦一款應用在紫外光刻機中的紫外線(xiàn)探測器，由工采網(wǎng)從國外引進(jìn)的紫外光電二極管 - SG01D-C18, SiC具有極其特別的優(yōu)點(diǎn)，能承受高強度的輻射，對可見(jiàn)光幾乎不敏感，產(chǎn)生的暗電流低，響應速度快，這些特性使得SiC成為能夠抑制可見(jiàn)光用來(lái)制作半導體紫外線(xiàn)探測器很好的材料。SiC探測器可以長(cháng)期工作在高達170℃的溫度中，溫度系數低（<0.1%/K）并且噪音低，能夠有效的監測到很低的輻射強度（需配置相應的放大器）。容－源－電－子－網(wǎng)－為你提供技術(shù)支持
非常感謝用戶(hù)nianshaoyouwei 的投稿！
本文地址：http://0u2438cq.cn/cgq/16091206504154.shtml
本文標簽:
- 上一篇文章：核磁共振設備工作過(guò)程人體溫度監控中應用的光纖溫度傳感器
- 下一篇文章：勒夫邁|灰塵傳感器的用途及原理介紹
-
LED調光電源和LED調光器有什么區別？
關(guān)鍵詞： 所屬欄目：開(kāi)關(guān)電源電路圖 -
LED調光電源和普通電源有什么區別？
關(guān)鍵詞： 所屬欄目：開(kāi)關(guān)電源電路圖 -
LED調光電源怎么接線(xiàn)？
關(guān)鍵詞： 所屬欄目：開(kāi)關(guān)電源電路圖 -
LED調光電源怎么接線(xiàn)？
關(guān)鍵詞： 所屬欄目：開(kāi)關(guān)電源電路圖 -
貼片二極管的識別方法及作用
二極管的主要特性是單向導電性，也就是在正向電壓的作用下，導通電阻很��；而在反向電壓作用下導通電阻極大或無(wú)窮大。
二極管按用途分為：晶體二極管、雙向觸發(fā)二極管、高頻變阻二極管、變容二極管、發(fā)光二極管、肖特基二極管。
關(guān)鍵詞： 所屬欄目：元器件知識 -
二極管的特征與應用
在電子電路中，都要用到半導體二極管，它在很多的電路中起偏重要的感化，它是降生早的半導體器件之一，其使用也普遍。 
關(guān)鍵詞： 所屬欄目：元器件知識 -
細講發(fā)光二極管優(yōu)勢特點(diǎn)
眾多行業(yè)，各行各業(yè)，顯而易見(jiàn)的一個(gè)人休，對于電子元件中的各大元件中也會(huì )有自己應該有的優(yōu)點(diǎn)及特點(diǎn)，帶給電子工程師不同的應用，使得技術(shù)得到一定的提高升級，而發(fā)光二極管也是其中之一。其本身的優(yōu)勢特點(diǎn)是什么呢?
關(guān)鍵詞： 所屬欄目：元器件知識 -
片狀貼片二極管的產(chǎn)品介紹
貼片二極管的管壓降：硅二極管（不發(fā)光類(lèi)型）正向管壓降0.7V，鍺管正向管壓降為0.3V，發(fā)光二極管正向管壓降會(huì )隨不同發(fā)光顏色而不同。主要有三種顏色，具體壓降參考值如下：紅色發(fā)光二極管的壓降為2.0--2.2V，黃色發(fā)光二極管的壓降為1.8—2.0V，綠色發(fā)光二極管的壓降為3.0—3.2V，正常發(fā)光時(shí)的額定電流約為20mA。貼片二極管的電壓與電流不是線(xiàn)性關(guān)系，所以在將不同的貼片二極管并聯(lián)的時(shí)候要接相適應的電阻。
關(guān)鍵詞： 所屬欄目：元器件知識 -
紫外線(xiàn)傳感器UV-Arc用于電力行業(yè)配電柜中絕緣不良導致
配電柜（箱）分動(dòng)力配電柜（箱）和照明配電柜（箱）、計量柜（箱），是配電系統的末級設備。配電柜是電動(dòng)機控制中心的統稱(chēng)。
關(guān)鍵詞： 所屬欄目：傳感器技術(shù) -
紫外線(xiàn)傳感器GUVC-S10GD用于消毒紫外汞燈是否正常發(fā)光
紫外汞燈用途廣泛，使用在PCB、LCD、電子、印刷、塑膠、木業(yè)、鞋業(yè)、玻璃、工藝品上光、涂裝等領(lǐng)域。UV設備中，一定會(huì )用得到UV燈管，UV汞燈設備大概包括：UV固化機，UV涂裝線(xiàn)，UV上光機等。
關(guān)鍵詞：紫外線(xiàn)傳感器 所屬欄目：傳感器技術(shù) -
紫外線(xiàn)傳感器在紫外固化試驗箱中的應用
UV固化即紫外固化，UV是紫外線(xiàn)的英文縮寫(xiě)，固化是指物質(zhì)從低分子轉變?yōu)楦叻肿拥倪^(guò)程。UV固化一般是指需要用紫外線(xiàn)固化的涂料（油漆）、油墨、膠粘劑（膠水）或其它灌封密封劑的固化條件或要求，其區別于加溫固化、膠聯(lián)劑（固化劑）固化、自然固化等。
關(guān)鍵詞： 所屬欄目：傳感器技術(shù) -
紫外光電探測器TOCON-ABC1用于燃弧紫外檢測
燃弧時(shí)間分為一極燃弧時(shí)間和三極開(kāi)關(guān)燃弧時(shí)間。一極燃弧時(shí)間指從一極中起弧瞬間到該極中電弧最終熄火瞬間的時(shí)間間隔，三極開(kāi)關(guān)燃弧時(shí)間指從某極中首先起弧瞬間到各極均熄弧瞬間的時(shí)間間隔。
關(guān)鍵詞： 所屬欄目：傳感器技術(shù) -
紫外光電探測器TOCON_ABC1用于焊接電弧光紫外線(xiàn)檢測
焊接，也稱(chēng)作熔接、镕接，是一種以加熱、高溫或者高壓的方式接合金屬或其他熱塑性材料如塑料的制造工藝及技術(shù)�，F代焊接的能量來(lái)源有很多種，包括氣體焰、電弧、激光、電子束、摩擦和超聲波等。
關(guān)鍵詞： 所屬欄目：傳感器技術(shù) -
紫外光電探測器用于高溫場(chǎng)合的鍋爐加熱火焰熄滅檢測
鍋爐是一種能量轉換設備，向鍋爐輸入的能量有燃料中的化學(xué)能、電能，鍋爐輸出具有一定熱能的蒸汽、高溫水或有機熱載體。鍋的原義指在火上加熱的盛水容器，爐指燃燒燃料的場(chǎng)所，鍋爐包括鍋和爐兩大部分。
關(guān)鍵詞： 所屬欄目：傳感器技術(shù) -
紫外線(xiàn)傳感器用于天然氣燃燒火焰探測
火焰探測器（flame detector）是探測在物質(zhì)燃燒時(shí)，產(chǎn)生煙霧和放出熱量的同時(shí)，也產(chǎn)生可見(jiàn)的或大氣中沒(méi)有的不可見(jiàn)的光輻射。它是用于響應火災的光特性，即探測火焰燃燒的光照強度和火焰的閃爍頻率的一種火災探測器。
關(guān)鍵詞： 所屬欄目：傳感器技術(shù) -
紫外分光光度法測量蛋白質(zhì)的含量
紫外可見(jiàn)分光光度法是在190～760nm波長(cháng)范圍內測定物質(zhì)的吸光度，用于鑒別、雜質(zhì)檢查和定量測定的方法。當光穿過(guò)被測物質(zhì)溶液時(shí)，物質(zhì)對光的吸收程度隨光的波長(cháng)不同而變化。
關(guān)鍵詞： 所屬欄目：傳感器技術(shù) -
紫外線(xiàn)傳感器GUVA-C32SM應用于智能手環(huán)中太陽(yáng)光紫外指
紫外線(xiàn)指數是指當太陽(yáng)在天空中的位置最高時(shí)（一般是在中午前后，即從上午十時(shí)至下午三時(shí)的時(shí)間段里），到達地球表面的太陽(yáng)光線(xiàn)中的紫外線(xiàn)輻射對人體皮膚的可能損傷程度。
關(guān)鍵詞： 所屬欄目：傳感器技術(shù) -
常用貼片整流二極管型號及封裝
平尚科技供應的常用貼片二極管的型號：IN4001—IN4007 SS12 SS14 SS16 SS24 等型號。
關(guān)鍵詞： 所屬欄目：電子器材 -
UV-AR符合鐵路應用EN 50317-2002標準，可用于動(dòng)車(chē)組、
弓網(wǎng)動(dòng)態(tài)接觸力是評估弓網(wǎng)受流質(zhì)量、接觸網(wǎng)狀態(tài)和滑板磨耗情況、診斷接觸網(wǎng)局部缺陷的關(guān)鍵參數�？紤]現有接觸力檢測方法存在的不足與缺陷，提出了一種基于光纖應變傳感器測定接觸力的方法。
關(guān)鍵詞： 所屬欄目：傳感器技術(shù) -
應用于博物館環(huán)境中紫外線(xiàn)強度檢測中的紫外線(xiàn)傳感器
地質(zhì)博物館陳列室的監測(包括自然采光以及螢光燈為主的人工采光陳列室),結果表明,對博物館陳列或收藏環(huán)境而言,波長(cháng)在320nm以下的紫外輻射幾乎不存在。因此,開(kāi)展標本保護工作只要對320 - 300nm之間的紫外輻射加以處理就能達到目的。
關(guān)鍵詞： 所屬欄目：傳感器技術(shù)
猜你感興趣：
- 最新內容
-
- 無(wú)源晶振選型 2024-10-10
- ACM6755 支持3霍爾應用的全集成三相直流無(wú)刷電機驅動(dòng)IC方案 2024-10-09
- YXC晶振解決方案助力工業(yè)相機應用 2024-09-27
- 有源晶振和無(wú)源晶振的區別 2024-09-24
- 光模塊熱度不減，最佳時(shí)頻CP-差分晶振 2024-09-20
- 晶體諧振器的工作原理 2024-09-19
- YXC石英有源差分可編程晶振，頻點(diǎn)200MHZ，小數點(diǎn)可精確至后6位，應用于5G基站 2024-09-12
- 70V耐壓可調OVP閾值的過(guò)壓保護芯-平芯微PW1600 2024-09-05
- YXC揚興有源新品發(fā)布丨1.2V超低功耗時(shí)鐘解決方案 2024-09-05
- YXC揚興 | 32.768KHZ晶振選型分享 2024-09-02
- 熱門(mén)標簽
-
功放集成電路 充電器電路圖 LED 音頻放大器電路圖 單片機 電機控制 LED電路圖 穩壓電源 開(kāi)關(guān)穩壓電源 音響電路圖 變頻器 逆變器 LED照明電路 空調維修技術(shù) LED驅動(dòng)電路圖 AV放大器電路 重低音電路圖 555定時(shí)器 電磁爐電路圖 穩壓集成電路 51單片機 電路設計 過(guò)壓保護電路 過(guò)流保護電路 穩壓電路 在線(xiàn)計算 三端穩壓電路 短路保護電路 伺服電機 步進(jìn)電機 PIC單片機 直流穩壓電源 可調穩壓電源 EMC 漏電保護電路 嵌入式系統 線(xiàn)圈 高頻逆變器 制冷 空調 UPS DC-DC電路 溫度傳感器 電磁兼容 磁珠 高頻開(kāi)關(guān)電源 格力 EMI 特斯拉 紫外線(xiàn)
川公網(wǎng)安備 51060302510748號