隨著(zhù)科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,許多工業(yè)產(chǎn)品的生產(chǎn)加工對生產(chǎn)環(huán)境的無(wú)塵車(chē)間工程中含塵濃度提出高的要求,這就需要其生產(chǎn)環(huán)境中具有一定的空氣潔凈等級和控制生產(chǎn)過(guò)程所需各類(lèi)相關(guān)物質(zhì)的供應質(zhì)量。例如,在膠片生產(chǎn)中,膠片若受到了塵埃的污染,將會(huì )發(fā)生乳劑氧化,活性減弱,pH值變化等,從而影響膠片的感光性能。下面帶大家了解一下灰塵傳感器用于半導體集成電路生產(chǎn)潔凈室中的解決方案。
集成電路制造業(yè)是一個(gè)在超凈化環(huán)境中,使用超純材料進(jìn)行超微細加工的產(chǎn)業(yè),半導體材料提純作為發(fā)展半導體器件的重要基礎。由于大規模和超大規模集成電路的工藝要求,為得到高純度的硅材料,原料和中間媒介的高純度和高精度恒溫恒濕工程生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度成為影響產(chǎn)品質(zhì)量的一個(gè)突出問(wèn)題。
集成電路芯片的成品率與芯片的缺陷密度有關(guān),而芯片的缺陷密度與空氣中粒子個(gè)數有關(guān)。因此,集成電路的高速發(fā)展,不僅對空氣中控制粒子的尺寸有高的要求,而且也需進(jìn)一步控制粒子數;同時(shí),對于超大規模集成電路生產(chǎn)環(huán)境中無(wú)塵車(chē)間工程的化學(xué)污染控制也有相關(guān)的要求。
集成電路生產(chǎn)過(guò)程中可能接觸到的主要污染物
集成電路生產(chǎn)中可能接觸到的主要污染有:微粒雜質(zhì)、無(wú)機離子、有機物質(zhì)、微生物以及氣體雜質(zhì)等。從廣義上說(shuō),不適宜的溫度、濕度、照度、超過(guò)限度的靜電、電磁噪聲、空氣噪聲以及微振動(dòng)等,也是特殊的污染物。其中,微粒雜質(zhì)、無(wú)機離子、有機物質(zhì)、微生物以及氣體雜質(zhì)的數量超過(guò)一定限度時(shí),就會(huì )是集成電路產(chǎn)品發(fā)生表面擦傷、圖形斷線(xiàn)、短路、針孔、剝離等現象,導致電路漏電、電特性異常。輕者影響電路性能和使用壽命,嚴重時(shí)可導致電路報廢。
鑒于這種情況,就需要使用灰塵傳感器來(lái)對半導體集成電路生產(chǎn)車(chē)間的環(huán)境進(jìn)行監測,保證產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境達到潔凈標準。勒夫邁推薦使用LD13C激光灰塵傳感器可以感知煙草產(chǎn)生的煙氣和花粉,房屋粉塵等。
LD13C激光灰塵傳感器
LD13C激光灰塵傳感器特性:
可檢測0.1微米以上的微小粒子;
體積小,重量輕,便于安裝;
5V的輸入電路,便于信號處理;
電控器件壽命≥8年,平均工作無(wú)故障時(shí)間≥5年;
保養簡(jiǎn)單,可以長(cháng)期保持傳感器的特性。
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紅外粉塵傳感器和激光粉塵傳感器
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而作為衡量空氣質(zhì)量的重要組件,粉塵傳感器是空氣凈化應用中的重中之重,粉塵/PM2.5傳感器已經(jīng)成為凈化設備或凈化系統的標準安裝元件。越來(lái)越多的空氣凈化器使用粉塵傳感器,已經(jīng)達到了智能控制設備的目的。粉塵傳感器在采樣后輸出信號值,空氣凈化器的主控制面板根據接收到的信號調整凈化檔位。
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